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      半导体机器人 Semiconductor Robot

      SEMISTAR-VD95D

      SEMISTAR-VD95D

      适用于真空环境内最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人!

      双腕玻璃基板

      负载:9KG

      动态范围:2300mm

      控制柜:DX100

      用途:搬运、洁净室

      SEMISTAR-MR124

      SEMISTAR-MR124

      适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版,引领业界的高性能!供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。

      半导体晶片搬运用机器人

      负载:--

      动态范围:1215mm

      控制柜:SR100

      用途:搬运、半导体

      MFS22200D

      MFS22200D

      实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!

      大型液晶玻璃基板搬运机器人

      负载:50KG

      动态范围:1780mm

      控制柜:DX100

      用途:搬运、洁净室

      MFS2500D

      MFS2500D

      实现洁净室内多层第8代超大型夜间玻璃基板箱体内的高速搬运!

      大型液晶玻璃基板搬运机器人

      负载:60KG

      动态范围:2300mm

      控制柜:DX100

      用途:搬运、洁净室

      MFL2200D

      MFL2200D

      实现洁净室内多层第6代超大型夜间玻璃基板箱体内的高速搬运!

      大型液晶玻璃基板搬运机器人

      负载:50KG

      动态范围:1675mm

      控制柜:DX100

      用途:搬运、洁净室

      MCL165

      MCL165

      适用于洁净室内大型重物的搬运。最大负载重达165KG,洁净度达到ISO6级。

      洁净室搬运机器人

      负载:165KG

      动态范围:2650mm

      控制柜:DX100

      用途:搬运、半导体、洁净室